對于真空燒結(jié)爐的溫度調(diào)節(jié)點,很多人都比較關(guān)注運行實際的峰值溫度。燒結(jié)爐一個最佳溫度范圍,太高的話算為過燒,過低的話算是欠燒。這兩種情況都不是最佳的燒結(jié)效果。把握好溫度的控制是找到最佳燒結(jié)溫度范圍的關(guān)鍵點。如何判斷是欠燒還是過燒?請參考燒結(jié)爐上的電性能參數(shù),可以通過它來判斷。
欠燒時,穿透氮化硅的銀漿留有殘余,那么進(jìn)入N型層的銀漿也比較少,歐姆接觸效果不好,會造成串聯(lián)的電阻較大。過燒時,銀的消耗量會較平時多一些,而且會形成有銀硅形成的混合層,這個混合層會起到阻礙的作用,同樣也會形成串聯(lián)的電阻過大。所以單單通過電阻不能推斷是欠燒還是過燒狀態(tài)。
當(dāng)無法判斷燒結(jié)的狀態(tài)時可以調(diào)節(jié)8區(qū)的溫度,找到大概的調(diào)節(jié)點,然后緩慢進(jìn)行微調(diào)。微調(diào)的時候我們可以通過背場的狀態(tài)來判斷,如果背場微微鼓起,那么就是出于過燒,所以應(yīng)微調(diào)降低溫度。
在開始燒結(jié)之前要先確認(rèn)每個加熱燈管是否可以正常運行。檢查各個溫區(qū)的燈管輸出的功率是否高于其他溫區(qū)燈管的平均值,來保證燒結(jié)的平均性。
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