真空爐系統(tǒng)主要由有關(guān)控制設(shè)備、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成。
真空系統(tǒng)由擴散泵、機械泵、主路閥、高真空擋板閥和旁路閥等組成。機械泵為粗真空裝置,其動力源是一臺三相交流電動機,通過交流接觸器的斷開與吸合實現(xiàn)泵的停止與工作。高真空油擴散泵為高真空裝置,借助擴散泵油和前級機械泵及電爐加熱的作用完成高真空度要求的抽氣工作,通過交流接觸器的斷開與吸合控制其電加熱爐的通斷,進而控制擴散泵的停止與動作。
加熱系統(tǒng)由加熱元件和加熱電源組成,加熱電源選用磁性調(diào)壓器,利用直流激磁電源實現(xiàn)帶負載的無觸點的平滑無級調(diào)壓,其直流激磁電源由功率調(diào)控器控制,而功率調(diào)控器利用溫控儀通過熱電偶檢測到的爐溫設(shè)定值與當前值之差,經(jīng)PID運算,輸出5~21mA的直流信號,控制磁性調(diào)壓器中的電壓和磁飽,進而按溫控儀所設(shè)置的溫控曲線實現(xiàn)溫度的自動調(diào)控和加熱電流。
在所設(shè)計的分布式控制系統(tǒng)中,充分利用計算機強大的處理功能和數(shù)據(jù)運算,及時監(jiān)控系統(tǒng)的工作狀態(tài),尤其是引入智能PID參數(shù)的自動整定,進一步提升真空爐系統(tǒng)的控制指標。
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